机械设备-半导体测试设备：百亿美元国产替代空间，细分领域正在加速突破-安信证券[李哲,崔逸凡]-20210628【26页】

■测试设备：贯穿半导体制造始末，占 20%设备投资额。半导体检测 设备主要用于半导体制造过程中检测芯片性能与缺陷，几乎每一步主 要工艺完成后都需要进行，贯穿于半导体生产过程中，广义上根据测 试环节分为前道测试和后道测试设备。

根据 Semi 及 Gartner 统计，半 导体前道测试设备一般在半导体设备支出中占比 11~13%，后道测试设 备占比 8~9%，合计占比约 20%，根据此值估算，2020 年全球半导体设 备总市场规模约 712 亿美元，按 12%与 8.5%测算，前道测试设备市场 约 86 亿美元，后道测试设备市场约 61 亿美元，合计 147 亿美元，目前 前道设备国产化率不足 1%，后道设备国产化率不足 10%，国产替代空 间接近百亿美元，且随着半导体设备市场进入扩张周期，前后道设备 需求均将显著受益。

■前道测试：科磊（KLA）高度垄断，量测领域国产替代较快。前道 量检测设备注重过程工艺监控，根据功能的不同分为两种设备：一是 量测类，二是缺陷检测类。其中根据科磊及 Semi 统计，我们取半导体 前道测试设备占比 10.5%，按照 Semi 最新预计 2020 年/2021 年半导体 设备总市场分别为 712 亿及 780 亿美元估算，我们预测 2020 年/2021 年全球半导体前道检测设备市场空间分别达到 85.4/93.6 亿美元，国内 市场分别达到 22.46/24.7 亿美元，约为 146/160.6 亿元人民币。其中检 测类占比 55%，量测类占比 38%。

目前科磊市占率达 52%，呈垄断地 位，国内上海精测、中科飞测、上海睿励等部分产品已实现批量销售， 我们判断前道设备中，国产替代将从量测设备开始，并逐渐向检测等 难度较高领域延伸。

■后道测试：泰瑞达（Teradyne）及爱德万（Advantest）为全球龙头， 细分领域已逐步实现国产替代。后道测试设备注重产品质量监控，可 分为测试机、分选机、探针台，根据 Semi 数据，三者价值量分别占比 63.1%、17.4%、15.2%。根据 VLSI Research 预计，受益于 SoC 及存储 需求强劲以及封测、晶圆厂资本开支加剧将继续维持高景气，2020 年 市场空间达 61 亿美元，同比增长 10%，2021 年将继续保持 10%的同比 增速，预计将达 69 亿美元。

根据赛迪顾问，国内后道测试设备市场 2020 年将达到 64 亿元，根据同等比例测算，2021 年市场空间有望达 70.4 亿 元。目前泰瑞达及爱德万为全球龙头，但在模拟/混合类测试领域国内 已逐步实现国产替代，目前华峰测控已推出 STS8300 测试机，进入 SoC 测试领域，长川科技相关产品也正在研发中，SoC 测试机相比模拟/混 合测试机市场规模将有 4-5 倍的提升，替代空间上限将被打开。

■投资建议：重点推荐华峰测控（测试设备），建议关注长川科技（测试设备、分选机、探针台）、精测电子（量测及测试设备）。

Valuelist-Peter Lynch赞助者

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